干式螺桿真空泵，是利用一對相互嚙合的螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及粉塵的氣體場合。它是油封式真空泵的更新換代產品。
特點:
1.泵腔內無油，對真空系統無污染，提高產品質量 。
2.泵腔內無油，解決油乳化及頻繁更換工作液、頻繁維護和保養等問題，節約使用成本。
3.干式運行，不會產生廢油和油煙，有利環保，節約石油資源。
4.能抽除大量水蒸汽和粉塵的氣體 。 增加附件后，也能抽除易燃、易爆及放射性等氣體。
5.極限真空較高，適用于中、低真空，與羅茨泵串聯可配成無油真空機組，與分子泵串聯可組成無油高真空機組。
6.采用防腐涂層處理后，特別適用于制藥、化工工藝中的產品蒸餾、干燥、脫氣等使用場合
7.清洗方便，如泵腔內進入污物需清洗時，只需打開泵的吸排氣口，開啟泵后從泵的吸氣口加入適量的水或清洗劑即可將泵清洗干凈，無需拆卸整臺泵。
螺桿真空泵核心技術是螺桿齒形，不同的齒形直接決定著泵的極限真空、抽氣速率、容積效率、振動和噪聲等技術性能指標的差異。目前螺桿真空泵的端面型線主要分為兩種，單頭轉子型線和多頭轉子型線 。源于螺桿壓縮機的多頭轉子型線起步較早，有的廠家直接用螺桿壓縮機的轉子型線用在真空泵上使用。日立公司很早就把4—6頭螺桿轉子型線用在真空泵上，韓國LG公司的真空泵目前也使用多頭轉子型線，由于兩嚙合轉子接觸線的頂點不能達到陰、陽轉子氣缸孔的交線，在接觸線頂點和機殼的轉子氣缸孔之間，會形成一個空間曲邊三角形，也就是泄漏三角形，氣體將從壓力較高的齒間容積，泄漏至壓力較低的鄰近齒間容積，由于這個泄漏三角形的存在，導致多頭螺桿真空泵的極限真空度較低，加上這類轉子加工難度大，需要專用機床，造價昂貴，因而逐步退出螺桿真空泵市場。為適應市場需求 ，各公司開始開發單頭等螺距轉子型線，日本的荏原株式會社和大晃株式會社等相繼研發出了具有知識產權的單頭螺桿轉子型線。KASHIYAMA公司也有自己的單頭轉子型線見世。東北大學的劉春姐、張世偉等是國內較早研究螺桿真空泵的學者，對單頭等螺距型線、單頭變螺距型線、雙邊對稱圓弧型線做了一定的研究，并申請了專利。但其所發表的文章中尚未給出完整的轉子端面構成及嚙合 、泄漏和齒間面積 利用效率的分析。
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