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1401型滑閥真空泵(已淘汰)
MH型滑閥真空泵(基本淘汰)
H型滑閥真空泵(單缸)
2H型滑閥真空泵(雙缸)

直聯旋片真空泵
2X型旋片真空泵
XD型單級旋片真空泵

ZJH型羅茨真空泵(專利產品)
ZJ型羅茨真空泵(老型)
ZJHQ型直排大氣羅茨真空泵

HF型爪式真空泵
LG型螺桿真空泵

2BA、2BV型直聯水環真空泵
SK、2SK、2SK-P型水環式真空泵
2BE型大型水環真空泵
RPP型水噴射真空泵

WLW型立式無油真空泵
W、WY型往復式真空泵

JZJHS型羅茨水環真空機組
JZJHX型羅茨旋片真空機組
JZJHBA型羅茨水環真空機組
JZJHP型羅茨水噴射真空機組
JZJHWLW型羅茨立式無油真空機組
JZJHH/2H型羅茨滑閥真空機組
HF型干式無油分子泵機組
JK型高真空羅茨-油擴散泵機組

3L-WD型直聯三葉羅茨風機
3L-WD型皮帶三葉羅茨風機

VD/VOD真空爐鋼水精煉真空成套設備
ZHH真空吸引站

滑閥式真空泵工作原理

滑閥式油封機械泵(簡稱滑閥泵)同旋片泵一樣,也是一種變容式氣體傳輸泵,但是滑閥真空泵和2X旋片真空泵相比,耐用高出好幾倍。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同。滑閥真空泵目前分為單級H型和雙極2H型兩種型號,比較老的還有MH,1401系列,目前基本淘汰。

滑閥泵由于其結構特點,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空設備上。滑閥泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa,對大泵≤1.3Pa(均關氣鎮),雙級泵的極限壓力≤0.06Pa(關氣鎮)。目前雙極2H滑閥真空泵最大抽速為300L/S。

由于滑閥泵的旋轉質量有較大的偏心,如果滑閥沒有很好的質量平衡,在運轉時會產生較大的振動。但泵旋轉質心的運動軌跡是形狀復雜的封閉曲線,因此小廠很難實現對滑閥泵慣性力的完全平衡。可以通過動平衡測試和雙缸或三缸結構做好滑閥的質量平衡。

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